Гальванотехника и ее применение в микроэлектроникеСтраница 1
Содержание
| Введение ….………………………………………………………… | 3 |
| Электрохимическая обработка металлов ………………. | 3 |
| Электрохимическое обезжиривание …………………… | 4 |
| Электрохимическое травление ……………………………. | 4 |
| Электрохимическое полирование ………………………… | 5 |
| Электрохимическое осаждение …………………………… | 6 |
| Нанесение на поверхность изделий металлических покрытий ………………………………………………………… . |
6 |
| Меднение ……………………………………………………… | 7 |
| Никелирование ………………………………………………… | 8 |
| Оловынирование ……………………………………………… | 8 |
| Серебрение ……………………………………………………… | 8 |
| Оборудование для нанесения гальванических покрытий …………………………………………………………… |
9 |
| Применение гальванотехники в микроэлектронике … | 10 |
| Удаление загрязнений с поверхности подложек ……… | 10 |
| Электрохимическое нанесение пленок ………………… | 13 |
| Изготовление печатных плат электрохимическим методом ……………………………………………………………… |
16 |
| Гальваническое меднение …………………………………… | 17 |
| Гальванические покрытия …………………………………… | 19 |
| Заключение …………………………………………………………. | 22 |
| Список литературы ……………………………………………… | 23 |