Конструирование микросхемы, разработка топологии
Страница 4

Маска

Подложка

III. Расчёт геометрических размеров плёночных элементов.

Прежде всего, для расчёта геометрических размеров резисторов нужно найти мощность P, рассеиваемую каждым резистором. Рассеиваемая мощность на резисторе находится по формуле:

(1), где i – номер элемента.

Применяя формулу (1) найдём Pi для каждого резистора (см. таблицу 1).

Так как резисторы R1, R5, R7, R9, R10, R14, R15, R18 меньше 1000 Ом, то размещать их будем на другом слое.

Теперь, для того, чтобы выбрать материал, из которого будут изготав­ли­вать­ся резистивные плёнки, проводники и контактные площадки нужно найти удельное поверхностное сопротивление резистивной плёнки для каждого слоя по формуле (значения Rопт см. таблицу 1):

Зная Rопт для каждого слоя, можем выбрать материал резистивной плёнки, контактных площадок и проводников, а также температурный коэффициент сопротивления a и допустимую удельную мощность рассеяния P0 соответствую­щий выбранному материалу:

I слой: резистивная плёнка – нихром, проволока Х20Н80 (ГОСТ 12766-67)

Контактные площадки

и проводники - медь

a = 1×10-4

P0 = 2 Вт/см2

II слой: резистивная плёнка – кермет К-50С (ЕТО.021.013 ТУ)

Контактные площадки

и проводники - золото с подслоем хрома (нихрома)

a = -4×10-4

P0 = 2 Вт/см2

Зная величину каждого резистора и Rо слоя, в котором он находятся, можно найти коэффициент формы для каждого резистора данного слоя:

где Кф – коэффициент формы плёночного элемента (значения Кф см. в таб­ли­це 1).

Теперь рассчитаем погрешность коэффициента формы:

Таблица 1.

Номер

R

I

Pi

Резистор

Ri

1/Ri

Rопт

1

0,0034543

0,008113888

R1

680

0,0014706

245,636

2,76832341

2

0,002651

0,007027801

R2

1000

0,001

4918,03

0,20333344

3

0,0008033

0,00212946

R3

3300

0,000303

4918,03

0,67100036

4

0,00147573

0,00718669

R4

3300

0,000303

4918,03

0,67100036

5

0,00130092

0,000169239

R5

100

0,01

245,636

0,40710638

6

0,00047755

0,002280587

R6

10000

0,0001

4918,03

2,03333441

7

0,00047755

0,000107188

R7

470

0,0021277

245,636

1,9134

8

0,00032997

0,001633183

R8

15000

6,667E-05

4918,03

0,20333344

9

0,00050478

2,54803E-05

R9

100

0,01

245,636

1,9134

10

0,0001694

1,34867E-05

R10

470

0,0021277

245,636

1,9134

11

3,4178E-06

1,16814E-08

R11

1000

0,001

4918,03

0,20333344

12

5,416E-06

1,37865E-07

R12

4700

0,0002128

4918,03

0,95566717

13

0,00032308

0,00156571

R13

15000

6,667E-05

4918,03

3,05000161

14

0,00032723

5,03286E-05

R14

470

0,0021277

245,636

1,9134

15

0,00100583

5,15964E-05

R15

51

0,0196078

245,636

0,20762426

16

0,00100583

0,004754962

R16

4700

0,0002128

4918,03

0,95566717

17

1,4167E-05

3,01056E-06

R17

15000

6,667E-05

4918,03

3,05000161

18

1,4167E-05

1,24436E-07

R18

620

0,0016129

245,636

2,52405958

19

5,416E-06

2,93331E-07

R19

10000

0,0001

4918,03

2,03333441

Страницы: 1 2 3 4 5 6